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文献
J-GLOBAL ID：200902133213071612
整理番号：02A0431686
銅の化学-機械研磨における潤滑挙動
Lubricating behavior in chemical-mechanical polishing of copper.
LIANG H
(Univ. Alaska Fairbanks, AK, USA)
,
XU G H
(Univ. Alaska Fairbanks, AK, USA)
資料名：
Scripta Materialia
(Scripta Materialia)
巻： 46 号： 5 ページ： 343-347 発行年： 2002年03月11日
JST資料番号： B0915A ISSN： 1359-6462 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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