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文献
J-GLOBAL ID：200902133344515974
整理番号：02A0687148
工業用メートルサイズの大面積電子ビーム励起プラズマ
Large area electron-beam-excited plasma of meter size for industrial applications.
HOMYARA H
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
AHMAD S
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
IKEZAWA S
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
FAMAKINWA T
(Kiev Polytechnic Inst., Keiv, UKR)
,
ODA H
(Itoh Optical Ind. Co. Ltd., Aichi, JPN)
,
YOSHIMURA K
(National Ind. Res. Inst. Nagoya, JPN)
,
TAODA H
(National Ind. Res. Inst. Nagoya, JPN)
,
FUJII S
(Kawasaki Heavy Ind. Co. Ltd., Chiba, JPN)
,
HARA T
(Toyota Technological Inst., Nagoya, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 66 号： 3/4 ページ： 203-207 発行年： 2002年08月19日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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