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文献
J-GLOBAL ID：200902133409056719
整理番号：00A0277106
Heteroepitaxial growth of A1N at the resonance point of nitrogen-ECR plasma.
INUSHIMA T
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
ASHINO T
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
MURANO K
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
SHIRAISHI T
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
DAVYDOV V YU
(Ioffe Physico-Technical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
OHOYA S
(Kanagawa Industrial Technol. Res. Inst., Kanagawa, JPN)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 209 号： 2/3 ページ： 406-409 発行年： 2000年02月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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