文献
J-GLOBAL ID:200902133416119076
整理番号:00A0711175
電気めっきされたRF-MEMS容量性スイッチ
Electroplated RF MEMS Capacitive Switches.
著者 (4件):
PARK J Y
(LG Corporate Inst. Technol., Seoul, KOR)
,
KIM G H
(LG Corporate Inst. Technol., Seoul, KOR)
,
CHUNG K W
(LG Corporate Inst. Technol., Seoul, KOR)
,
BU J U
(LG Corporate Inst. Technol., Seoul, KOR)
資料名:
IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
(IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
13th
ページ:
639-644
発行年:
2000年
JST資料番号:
W1183A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)