文献
J-GLOBAL ID:200902133515153359
整理番号:94A0062816
Orientation-dependent sulfide passivation of indium arsenide.
著者 (2件):
NOVIKOV E B
(A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN)
,
CHAIKINA E I
(A.F. Ioffe Physico-Technical Inst., St. Petersburg, SUN)
資料名:
Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing
(Surface Chemical Cleaning and Passivation for Semiconductor Processing)
ページ:
189-194
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19930660
ISBN:
1-55899-213-8
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)