文献
J-GLOBAL ID:200902133582158241
整理番号:93A0409496
Automatic visual inspection system for TFH (Thin Film magnetic Head) wafer using optical enhancement and image processing techniques.
著者 (3件):
MATSUYAMA Y
(Hitachi, Ltd., Yokohama, JPN)
,
IWATA H
(Hitachi, Ltd., Yokohama, JPN)
,
KUBOTA H
(Hitachi, Ltd., Yokohama, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1771
ページ:
20-30
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)