文献
J-GLOBAL ID:200902133812233019
整理番号:93A0509522
ダイヤモンド薄膜の蒸着過程における水素-炭化水素r.f.プラズマジェット流束からの発光の研究
Studies of the optical emission from a hydrogen-hydrocarbon r.f. plasma jet stream during diamond film deposition.
著者 (3件):
BARANKOVA H
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
BARDOS L
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
BERG S
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
2
号:
2/4
ページ:
347-352
発行年:
1993年03月31日
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)