文献
J-GLOBAL ID:200902133900215101
整理番号:94A0142675
Schwarzschild結像光学素子を使った軟X線投影リソグラフィー実験
Soft-x-ray projection lithography experiments using Schwarzschild imaging optics.
著者 (9件):
TICHENOR D A
(Sandia National Lab., California)
,
KUBIAK G D
(Sandia National Lab., California)
,
MALINOWSKI M E
(Sandia National Lab., California)
,
STULEN R H
(Sandia National Lab., California)
,
HANEY S J
(Sandia National Lab., California)
,
BERGER K W
(Sandia National Lab., California)
,
BROWN L A
(Sandia National Lab., California)
,
SWEATT W C
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
WINDT D L
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
32
号:
34
ページ:
7068-7071
発行年:
1993年12月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)