文献
J-GLOBAL ID:200902133966518008
整理番号:01A0143467
アークイオンめっき法およびイオンビームミキシング法によりアルミニウムとアルミニウム合金基板に被覆したTiN薄膜のX線応力測定と機械的性質
X-Ray Stress Measurement and Mechanical Properties of TiN Films Coated on Aluminum and Aluminum Alloy Substrates by Arc Ion Plating and Ion Beam Mixing.
著者 (5件):
MIKI Y
(Nara Prefectural Inst. Industrial Technol., Nara, JPN)
,
TANIGUCHI T
(Nara Prefectural Inst. Industrial Technol., Nara, JPN)
,
HANABUSA T
(Tokushima Univ., Tokushima, JPN)
,
KUSAKA K
(Tokushima Univ., Tokushima, JPN)
,
MATSUE T
(Niihama National Coll. Technol., Niihama, JPN)
資料名:
Materials Science Research International
(Materials Science Research International)
巻:
6
号:
4
ページ:
243-248
発行年:
2000年12月15日
JST資料番号:
L2329A
ISSN:
1341-1683
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)