文献
J-GLOBAL ID:200902134013349795
整理番号:93A0428918
Design and analysis of an ARROW-waveguide-based silicon pressure transducer.
著者 (4件):
YOUNG A M
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
,
XU C
(Univ. Waterloo, Ontario, CAN)
,
HUANG W
(Univ. Waterloo, Ontario, CAN)
,
SENTURIA S D
(Massachusetts Inst. Technology, MA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1793
ページ:
42-53
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)