文献
J-GLOBAL ID:200902134125150363
整理番号:97A1019177
RFスパッタしたPb(Zr,Ti)O3強誘電体薄膜に関する組成安定性の制御
Stability Control of Composition of RF-Sputtered Pb(Zr, Ti)O3 Ferroelectric Thin Film.
著者 (4件):
SUU K
(ULVAC Japan, Ltd., Chiba, JPN)
,
OSAWA A
(ULVAC Japan, Ltd., Chiba, JPN)
,
NISHIOKA Y
(ULVAC Japan, Ltd., Chiba, JPN)
,
TANI N
(ULVAC Japan, Ltd., Chiba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
36
号:
9B
ページ:
5789-5792
発行年:
1997年09月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)