文献
J-GLOBAL ID:200902134198710880
整理番号:97A0505141
薄膜SOIデバイスにおけるLOCOS誘起ストレス効果
LOCOS-Induced Stress Effects on Thin-Film SOI Devices.
著者 (7件):
HUANG C-L
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
SOLEIMANI H R
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
GRULA G J
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
SLEIGHT J W
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
VILLANI A
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
ALI H
(Digital Equipment Corp., MA, USA)
,
ANTONIADIS D A
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻:
44
号:
4
ページ:
646-650
発行年:
1997年04月
JST資料番号:
C0222A
ISSN:
0018-9383
CODEN:
IETDAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)