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J-GLOBAL ID：200902134314781471 整理番号：01A0982005

大口径φ300mmSiウエハ用超加工機械の開発

Development of One-Stop Manufacturing System for Large-sized φ300mm Si Wafer.

著者 (6件)：

江田弘

(茨城大工)

ZHOU L

(茨城大工)

中野博民

(茨城大工)

近藤良

(茨城大工)

清水淳

(茨城大工)

田島琢二

(日立ビアメカニクス)

資料名：

精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻： 67 号： 10 ページ： 1693-1697 発行年： 2001年10月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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