文献
J-GLOBAL ID:200902134333618123
整理番号:93A0438586
Wavelength Dependence of Scatter in Chemical Vapor Deposited SiC.
著者 (3件):
GOELA J S
(Morton Advanced Materials, MA)
,
PICKERING M A
(Morton Advanced Materials, MA)
,
TAYLOR R L
(Morton Advanced Materials, MA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1753
ページ:
77-89
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)