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文献
J-GLOBAL ID：200902134363222216
整理番号：95A0262282
ピエゾ電気励起と検出を使った走査力顕微鏡
Special Issue on Micromachines and Micro Electro Mechanical Systems. Scanning Force Microscope Using Piezoelectric Excitation and Detection.
ITOH T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
OHASHI T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SUGA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)
(IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E78-C 号： 2 ページ： 146-151 発行年： 1995年02月
JST資料番号： L1370A ISSN： 0916-8524 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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