文献
J-GLOBAL ID:200902135107216655
整理番号:94A0114359
プラズマ処理における微粒子汚染に関係する科学的技術的問題
Scientific and technological issues pertaining to particle contamination in plasma processing.
著者 (1件):
SELWYN G S
(IBM Research Division, NY)
資料名:
Particles in Gases and Liquids 3
(Particles in Gases and Liquids 3)
ページ:
213-222
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19940047
ISBN:
0-306-44485-2
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)