文献
J-GLOBAL ID:200902135310965310
整理番号:95A0547947
Ta(OC2H5)5とH2Oからの酸化タンタル薄膜の原子層エピタクシー成長
Atomic Layer Epitaxy Growth of Tantalum Oxide Thin Films from Ta(OC2H5)5 and H2O.
著者 (3件):
KUKLI K
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
RITALA M
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
,
LESKELAE M
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
142
号:
5
ページ:
1670-1675
発行年:
1995年05月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)