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文献
J-GLOBAL ID：200902135339124226
整理番号：03A0289976
フォトリソグラフィーで製作したER懸架用のマイクロER3方弁
Three-ports Micro ER Valve for ER Suspension Fabricated by Photolithography
NAKANO M
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
KATOU T
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
SATOU A
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
MIYATA K
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
,
MATSUSHITA K
(Yamagata Univ., Yamagata, JPN)
資料名：
Journal of Intelligent Material Systems and Structures
(Journal of Intelligent Material Systems and Structures)
巻： 13 号： 7/8 ページ： 503-508 発行年： 2002年07月
JST資料番号： W0165A ISSN： 1045-389X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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