文献
J-GLOBAL ID:200902135345279657
整理番号:96A0704511
PZT薄膜を用いた微細加工圧電式力センサ
Micromachined Piezoelectric Force Sensors Based on PZT Thin Films.
著者 (3件):
LEE C
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
ITOH T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SUGA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
43
号:
4
ページ:
553-559
発行年:
1996年07月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)