文献
J-GLOBAL ID:200902135404421152
整理番号:02A0067771
大気圧,RF-生成プラズマ源を用いた材料処理
Materials Processing Using an Atmospheric Pressure, RF-Generated Plasma Source.
著者 (4件):
SELWYN G S
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
HERRMANN H W
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
PARK J
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
,
HENINS I
(Los Alamos National Lab., NM, USA)
資料名:
Contributions to Plasma Physics
(Contributions to Plasma Physics)
巻:
41
号:
6
ページ:
610-619
発行年:
2001年
JST資料番号:
H0173A
ISSN:
0863-1042
CODEN:
BPPHAA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)