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J-GLOBAL ID：200902135583909782 整理番号：95A0629535

角度分解XPSとAES 深さ分解能の限界と深さプロファイル復元法の特性の一般的な比較

Angle-resolved XPS and AES: depth-resolution limits and a general comparison of properties of depth-profile reconstruction methods.

著者 (1件)：

CUMPSON P J

(National Physical Lab., Middlesex, GBR)

資料名：

Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)

巻： 73 号： 1 ページ： 25-52 発行年： 1995年05月31日
JST資料番号： D0266C ISSN： 0368-2048 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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