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文献
J-GLOBAL ID：200902135631641797
整理番号：99A0213971
水晶音叉を利用した力顕微法と形状測定用の高速力センサ
High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork.
GIESSIBL F J
(Univ. Augsburg, Augsburg, DEU)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 73 号： 26 ページ： 3956-3958 発行年： 1998年12月28日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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