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文献
J-GLOBAL ID：200902135737254059
整理番号：00A0711186
光学的平坦度を改善するための伸張膜マイクロミラー
Stretched-Film Micromirrors for Improved Optical Flatness.
NEE J T
(Univ. California, CA, USA)
,
CONANT R A
(Univ. California, CA, USA)
,
HART M R
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
,
LAU K Y
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
(IEEE Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 13th ページ： 704-709 発行年： 2000年
JST資料番号： W1183A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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