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文献
J-GLOBAL ID：200902136111595993
整理番号：00A0831055
メカトロニック・マイクロ・デバイス
Mechatronic Micro Devices.
MICHEL F
(Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH(IMM), Mainz, DEU)
,
EHRFELD W
(Inst. Mikrotechnik Mainz GmbH(IMM), Mainz, DEU)
資料名：
Proceedings of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science
(Proceedings of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science)
ページ： 27-34 発行年： 1999年
JST資料番号： K20000313 ISBN： 0-7803-5790-6 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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