文献
J-GLOBAL ID:200902136167651926
整理番号:93A0415473
InP上に高速熱低圧金属有機化学蒸着で形成した極低抵抗率TiNx膜の微視構造の研究
Microstructural study on very low resistivity TiNx films formed by rapid thermal low-pressure metalorganic chemical vapour deposition onto InP.
著者 (6件):
KATZ A
(AT & Bell Lab., NJ, USA)
,
FEINGOLD A
(AT & Bell Lab., NJ, USA)
,
NAKAHARA S
(AT & Bell Lab., NJ, USA)
,
PEARTON S J
(AT & Bell Lab., NJ, USA)
,
LANE E
(AT & Bell Lab., NJ, USA)
,
JONES K
(Univ. Florida, FL, USA)
資料名:
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻:
8
号:
3
ページ:
450-458
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
E0503B
ISSN:
0268-1242
CODEN:
SSTEET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)