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J-GLOBAL ID：200902136298285470 整理番号：94A0142672

軟X線投影リソグラフィーにおけるフロントエンド設計問題

Front-end design issues in soft-x-ray projection lithography.

著者 (3件)：

CEGLIO N M

(Lawrence Livermore National Lab., California)

HAWRYLUK A M

(Lawrence Livermore National Lab., California)

SOMMARGREN G E

(Lawrence Livermore National Lab., California)

資料名：

Applied Optics (Applied Optics)

巻： 32 号： 34 ページ： 7050-7056 発行年： 1993年12月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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