文献
J-GLOBAL ID:200902136465072114
整理番号:03A0004548
けい素メルトからのAcheson種結晶への炭化けい素エピタキシャル層成長
Silicon carbide epitaxial layer growths on Acheson seed crystals from silicon melt.
著者 (5件):
KHAN M N
(Pakistan Inst. Nuclear Sci. and Technol., Islamabad, PAK)
,
NISHIZAWA S
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
KATO T
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
KOSUGI R
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
,
ARAI K
(Electrotechnical Lab., Ibaraki, JPN)
資料名:
Materials Letters
(Materials Letters)
巻:
57
号:
2
ページ:
307-314
発行年:
2002年12月
JST資料番号:
E0935A
ISSN:
0167-577X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)