文献
J-GLOBAL ID:200902136529196009
整理番号:95A0428727
多孔質シリコンのマイクロマシニング応用
Micromachining applications of porous silicon.
著者 (2件):
STEINER P
(Fraunhofer Inst. Solid State Technology, Munich, DEU)
,
LANG W
(Fraunhofer Inst. Solid State Technology, Munich, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
255
号:
1/2
ページ:
52-58
発行年:
1995年01月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)