文献
J-GLOBAL ID:200902136536040251
整理番号:00A0890133
表面を微細加工された静電容量型多孔性シリコンの新しい湿度センサ
A novel surface-micromachined capacitive porous silicon humidity sensor.
著者 (4件):
RITTERSMA Z M
(Univ. Bremen, Bremen, DEU)
,
SPLINTER A
(Univ. Bremen, Bremen, DEU)
,
BOEDECKER A
(Univ. Bremen, Bremen, DEU)
,
BENECKE W
(Univ. Bremen, Bremen, DEU)
資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻:
B68
号:
1/3
ページ:
210-217
発行年:
2000年08月25日
JST資料番号:
T0967A
ISSN:
0925-4005
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)