文献
J-GLOBAL ID:200902136586998685
整理番号:94A0130341
The Significance and Detection of Transmissive Defects on 5X Reticles.
著者 (2件):
ZURBRICK L S
(KLA Instruments Corp., CA)
,
HENKE W
(Fraunhofer Inst. Microstructure Technology, Berlin)
資料名:
ASMC ’93 Proceedings
(ASMC '93 Proceedings)
ページ:
124-129
発行年:
1993年
JST資料番号:
K19940061
ISBN:
0-7803-1367-4
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)