文献
J-GLOBAL ID:200902136852162890
整理番号:93A0830906
LPMOCVD of YSZ thin film. Experiments and model analyses.
著者 (3件):
AKIYAMA Y
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
,
SATO T
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
,
IMAISHI N
(Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
資料名:
Proceedings of the International Conference on Chemical Vapor Deposition
(Proceedings of the International Conference on Chemical Vapor Deposition)
巻:
12th
ページ:
300-305
発行年:
1993年
JST資料番号:
E0761A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)