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文献
J-GLOBAL ID：200902136903777762
整理番号：93A0661116
rfシランプラズマ蒸着実験における粒子先駆体としての負の水素化けい素イオンクラスタ
Negative hydrogenated silicon ion clusters as particle precursors in RF silane plasma deposition experiments.
HOWLING A A
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
SANSONNENS L
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
DORIER J-L
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
,
HOLLENSTEIN C
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CHE)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 26 号： 6 ページ： 1003-1006 発行年： 1993年06月14日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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