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文献
J-GLOBAL ID：200902137110226320
整理番号：93A0282146
BiSrCaCuO高Tc超伝導薄膜のための低サブミクロンパターニング処理
Lower-Submicron Patterning Process for BiSrCaCuO High-Tc Superconducting Thin Films.
FUJIWARA S
(SANYO Tsukuba Research Center, Ibaraki)
,
YUASA R
(SANYO Tsukuba Research Center, Ibaraki)
,
FURUKAWA H
(SANYO Tsukuba Research Center, Ibaraki)
,
NAKAO M
(SANYO Tsukuba Research Center, Ibaraki)
,
SUZUKI S
(SANYO Tsukuba Research Center, Ibaraki)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 1B ページ： 685-688 発行年： 1993年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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