文献
J-GLOBAL ID:200902137121605179
整理番号:99A0190118
酸化物及び窒化物の超格子被覆層の高速・反応性DCマグネトロンスパッタリング
High-rate reactive DC magnetron sputtering of oxide and nitride superlattice coatings.
著者 (1件):
SPROUL W D
(Sputtered Films, Inc., California, USA)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
51
号:
4
ページ:
641-646
発行年:
1998年12月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)