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文献
J-GLOBAL ID：200902137122250900
整理番号：94A0130357
An Evaluation of Surface Finish and Flush-up Procedures for High Purity HCl Gas Distribution Systems.
DUGUID R
(Millipore Corp., MA)
,
CODER S
(Advanced Micro Devices, CA)
,
BINDER R
(Novapure Corp., CT)
,
HERTZLER B
(Air Products and Chemicals, Inc., PA)
資料名：
ASMC ’93 Proceedings
(ASMC '93 Proceedings)
ページ： 204-210 発行年： 1993年
JST資料番号： K19940061 ISBN： 0-7803-1367-4 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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