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文献
J-GLOBAL ID：200902137161642689
整理番号：93A0897696
Electrical, thermal and mechanical properties of polyimide thin films prepared by high-temperature vapor deposition polymerization.
IIJIMA M
(ULVAC Japan Ltd., Ibaraki, JPN)
,
TAKAHASHI Y
(ULVAC Japan Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
High Performance Polymers
(High Performance Polymers)
巻： 5 号： 3 ページ： 229-237 発行年： 1993年09月
JST資料番号： W0029A ISSN： 0954-0083 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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