文献
J-GLOBAL ID:200902137173689117
整理番号:02A0682988
原子層堆積による薄膜成長用の水晶微量天秤付き粘性流反応器
Viscous flow reactor with quartz crystal microbalance for thin film growth by atomic layer deposition.
著者 (3件):
ELAM J W
(Univ. Colorado, Colorado)
,
GRONER M D
(Univ. Colorado, Colorado)
,
GEORGE S M
(Univ. Colorado, Colorado)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
73
号:
8
ページ:
2981-2987
発行年:
2002年08月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)