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文献
J-GLOBAL ID：200902137197636588
整理番号：00A0428864
SEMにおける二次電子ドーパントコントラストに対する機構
Mechanism for secondary electron dopant contrast in the SEM.
SEALY C P
(Univ. Oxford, Oxford, GBR)
,
CASTELL M R
(Univ. Oxford, Oxford, GBR)
,
WILSHAW P R
(Univ. Oxford, Oxford, GBR)
資料名：
Journal of Electron Microscopy
(Journal of Electron Microscopy)
巻： 49 号： 2 ページ： 311-321 発行年： 2000年
JST資料番号： G0104A ISSN： 0022-0744 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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