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文献
J-GLOBAL ID:200902137318008539   整理番号:94A0018564

照射したSi-SiO2構造の界面のパラメータに及ぼす熱処理の効果

Effect of heat treatment on the parameters of an interface in Si-SiO2 structures after irradiation.
著者 (5件):
VOVK O V
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
LELECHENKO V P
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
SOLOSHENKO V I
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
ROIZIN YA O
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
CHKUNINA V N
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)

資料名:
Semiconductors  (Semiconductors)

巻: 27  号:ページ: 745-747  発行年: 1993年08月 
JST資料番号: T0093A  ISSN: 1063-7826  CODEN: SMICES  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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