文献
J-GLOBAL ID:200902137318008539
整理番号:94A0018564
照射したSi-SiO2構造の界面のパラメータに及ぼす熱処理の効果
Effect of heat treatment on the parameters of an interface in Si-SiO2 structures after irradiation.
著者 (5件):
VOVK O V
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
,
LELECHENKO V P
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
,
SOLOSHENKO V I
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
,
ROIZIN YA O
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
,
CHKUNINA V N
(I.I. Mechnikov State Univ., Odessa, SUN)
資料名:
Semiconductors
(Semiconductors)
巻:
27
号:
8
ページ:
745-747
発行年:
1993年08月
JST資料番号:
T0093A
ISSN:
1063-7826
CODEN:
SMICES
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)