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文献
J-GLOBAL ID：200902137334100852
整理番号：97A1011395
自励振動する圧電体カンチレバーを用いた周波数変調検出型の高真空走査型力顕微鏡
Frequency modulation detection high vacuum scanning force microscope with a self-oscillating piezoelectric cantilever.
CHU J
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
ITOH T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
LEE C
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SUGA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
WATANABE K
(Seiko Instruments Inc., Shizuoka, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 15 号： 5 ページ： 1647-1651 発行年： 1997年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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