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文献
J-GLOBAL ID：200902137361600999
整理番号：02A0240439
無線周波数のマイクロ電気機械容量性スイッチ用のチタン酸バリウムストロンチウム薄膜
Barium-strontium-titanate thin films for application in radio-frequency-microelectromechanical capacitive switches.
KIRCHOEFER S W
(Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
CUKAUSKAS E J
(Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
BARKER N S
(Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
NEWMAN H S
(Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
,
CHANG W
(Naval Res. Lab., Washington, D.C.)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 80 号： 7 ページ： 1255-1257 発行年： 2002年02月18日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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