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J-GLOBAL ID：200902137362777060 整理番号：96A0798521

円筒マグネトロンスパッタ装置で成膜した黒色のチタン薄膜の構造

Structural Features of Black Ti Films Prepared by Cylindrical Magnetron Sputtering.

著者 (3件)：

金子忠夫

(群馬工高専)

岩崎貴志

(群馬工高専)

桜井美恵子

(群馬工高専)

資料名：

真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)

巻： 39 号： 8 ページ： 383-388 発行年： 1996年08月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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