文献
J-GLOBAL ID:200902137367955365
整理番号:98A0570416
高結晶性成長から非晶質成長への遷移における微結晶粒シリコンの構造特性
Structural properties of microcrystalline silicon in the transition from highly crystalline to amorphous growth.
著者 (6件):
HOUBEN L
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
,
LUYSBERG M
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
,
HAPKE P
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
,
CARIUS R
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
,
FINGER F
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
,
WAGNER H
(Forschungszentrum Juelich, Juelich, DEU)
資料名:
Philosophical Magazine. A. Physics of Condensed Matter: Structure, Defects and Mechanical Properties
(Philosophical Magazine. A. Physics of Condensed Matter: Structure, Defects and Mechanical Properties)
巻:
77
号:
6
ページ:
1447-1460
発行年:
1998年06月
JST資料番号:
E0753B
ISSN:
0141-8610
CODEN:
PMAADG
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)