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文献
J-GLOBAL ID：200902137456684006
整理番号：93A0194736
低圧化学蒸着法で作製したTiO2薄皮膜
Thin TiO2 Films Prepared by Low Pressure Chemical Vapor Deposition.
RAUSCH N
(Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
,
BURTE E P
(Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140 号： 1 ページ： 145-149 発行年： 1993年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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