文献
J-GLOBAL ID:200902137565207293
整理番号:93A0975947
Phase plates in the object plane for microlithography.
著者 (1件):
LEVENSON M D
(IBM Research Division, California)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1870
ページ:
130-137
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)