文献
J-GLOBAL ID:200902137688637101
整理番号:93A0761715
Reactive sputtering using two reactive gases, experiments and computer modeling.
著者 (4件):
CARLSSON P
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
NENDER C
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
BARANKOVA H
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
BERG S
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
4 Pt 1
ページ:
1534-1539
発行年:
1993年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)