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文献
J-GLOBAL ID：200902138152842787
整理番号：98A0261476
テーパをつけた形状の正方形ホローカソードにより生成した一様なRF放電プラズマ
Uniform RF Discharge Plasmas Produced by a Square Hollow Cathode with Tapered Shape.
FUKUDA T
(Gunma Univ., Gunma, JPN)
,
MATSUOKA A
(Gunma Univ., Gunma, JPN)
,
KONDOH Y
(Gunma Univ., Gunma, JPN)
,
SUGAWARA M
(Hachinohe Inst. Technol., Aomori, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 37 号： 1A/B ページ： L81-L84 発行年： 1998年01月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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