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J-GLOBAL ID：200902138266015058 整理番号：97A0432209

マイクロ超音波振動子による研削加工の試み

Grinding trial by micro ultrasonic vibrator.

著者 (7件)：

鈴木清

(日本工大)

三代祥二

(多賀電気)

宍戸善明

(日本工大)

北嶋孝之

(日本工大)

平井聖児

(東京都工高専)

熊倉賢一

(クマクラ)

植松哲太郎

(富山県大)

資料名：

精密工学会大会学術講演会講演論文集 (精密工学会大会シンポジウム資料集)

巻： 1997 号： Spring 3 ページ： 1077-1078 発行年： 1997年03月
JST資料番号： Y0914A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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