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文献
J-GLOBAL ID：200902138535045325
整理番号：93A1001643
二次元薄膜共振器の数値解析
Numerical Analysis of Two Dimensional Thin Film Resonators.
LAKIN K M
(TFR Technologies, Inc., OR)
資料名：
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium
(Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 47th ページ： 502-508 発行年： 1993年
JST資料番号： C0958A ISSN： 1075-6787 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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