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J-GLOBAL ID：200902138626272693 整理番号：97A0857113

マイクロ波プラズマ化学気相成長による燃料電池用マグネシア安定化ジルコニア薄膜の作製

Preparation of Magnesia Stabilized Zirconia Thin Films for Solid Oxide Fuel Cell by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition.

著者 (5件)：

岡山英夫

(大阪工大工)

久保吏

(大阪工大工)

望月則孝

(大阪工大工)

長田昭義

(大阪工大工)

伊佐弘

(大阪工大工)

資料名：

真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)

巻： 40 号： 8 ページ： 660-663 発行年： 1997年08月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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